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上海新陽:擬5.8億元投建開發集成電路關鍵工藝材料項目

  上海新陽公告,上海新陽公告,公司擬與上海化學工業區管委會、上海化學工業區發展有限公司簽訂《投資意向協議》,變更全資子公司上海芯刻微材料技術有限責任公司注冊于上海化學工業區,并啟動位于上海化學工業區的項目建設,該項目主要開發集成電路關鍵工藝材料,總投資額約5.8億元。項目預計年產500噸I線、KrF、ArF干/濕法光刻膠等產品。

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