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上海新陽:擬5.8億元投建開發(fā)集成電路關(guān)鍵工藝材料項(xiàng)目

  上海新陽公告,上海新陽公告,公司擬與上海化學(xué)工業(yè)區(qū)管委會(huì)、上海化學(xué)工業(yè)區(qū)發(fā)展有限公司簽訂《投資意向協(xié)議》,變更全資子公司上海芯刻微材料技術(shù)有限責(zé)任公司注冊于上海化學(xué)工業(yè)區(qū),并啟動(dòng)位于上海化學(xué)工業(yè)區(qū)的項(xiàng)目建設(shè),該項(xiàng)目主要開發(fā)集成電路關(guān)鍵工藝材料,總投資額約5.8億元。項(xiàng)目預(yù)計(jì)年產(chǎn)500噸I線、KrF、ArF干/濕法光刻膠等產(chǎn)品。

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