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晶盛機電成功發布6英寸雙片式碳化硅外延設備

  據證券時報,2月4日,晶盛機電6英寸雙片式碳化硅外延設備新品發布會落幕,標志著晶盛機電在第三代半導體領域取得重大突破。晶盛機電外延設備研究所所長劉毅介紹,該產品歷時兩年的研發、測試與驗證,在外延產能、運營成本等方面已取得國際領先優勢,與單片設備相比,新設備單臺產能增加70%,單片運營成本降幅可達30%以上。

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