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中微公司第2000個CCP刻蝕設(shè)備反應(yīng)臺付運(yùn)客戶

  近日,中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司的電容耦合高能等離子體(CCP)刻蝕設(shè)備第2000個反應(yīng)臺順利付運(yùn)國內(nèi)一家領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造商。本批次運(yùn)付客戶的CCP刻蝕設(shè)備反應(yīng)臺有Primo AD-RIE 及Primo HD-RIE 系列產(chǎn)品,均來自該客戶的重復(fù)訂單。

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