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晶瑞電材:公司KrF光刻膠產品爭取今年批量供貨

  晶瑞電材在互動平臺回答投資者提問時表示,公司KrF(248nm深紫外)光刻膠產品分辨率達到了0.25~0.13μm的技術要求,已通過部分重要客戶測試,KrF光刻膠生產及測試線已經基本建成,設備正在安裝調試中,爭取今年批量供貨。

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