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中國首臺2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機正式交付客戶

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　　2月7日，上海微電子舉行首臺2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機發(fā)運儀式，這標(biāo)志著中國首臺2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機正式交付客戶。(券中社)

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