彤程新材：擬在上海化學工業區內投資6.9853億元建設“ArF高端光刻膠研發平臺建設項目”，主要研究ArF濕法光刻膠工業化生產技術開發，通過建立標準化的生產及控制流程，提升高端光刻膠的質量控制水平，實現193nm濕法光刻膠量產生產；同時，逐步建立先進的集成電路及配套材料開發與應用評價平臺。